Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Melzer, Marcel ; Waechtler, Thomas ; Müller, Steve ; Fiedler, Holger ; Hermann, Sascha ; Rodriguez, Raul D. ; Villabona, Alexander ; Sendzik, Andrea ; Mothes, Robert ; Schulz, Stefan E. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Hietschold, Michael ; Lang, Heinrich ; Gessner, Thomas
Copper oxide atomic layer deposition on thermally pretreated multi-walled carbon nanotubes for interconnect applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 3: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Institut 4: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 5: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2012.10.026 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 107. 2013, S. 223 - 228 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotubes (CNT) , Atomic layer deposition (ALD) , Copper , Copper oxide , Interconnect , Thermal oxidation |
