Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ;
Voigt, Sven ;
Haas, Sven ;
Bertz, Andreas ;
Kaufmann, Christian ;
Gessner, Thomas ;
Akiba, Akira ;
Ikeda, Koichi
Ramesham, Rajeshuni...(ed.)
Analysis of metal-metal contacts in RF MEMS switches
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-0-8194-9383-5 | |
| URL/URN: | doi:10.1117/12.2004775 | |
| Quelle: | Reliability, packaging, testing, and characterization of MOEMS/MEMS and nanodevices XII : 4 - 5 February 2013, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west. - Proceedings of SPIE ; 8614 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | RF MEMS switch , metal-metal contact |
