Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuter, Danny ; Nowack, Markus ; Shaporin, Alexey ; Rockstroh, Jan ; Haas, Sven ; Bertz, Andreas ; Mehner, Jan ; Gessner, Thomas
Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3423-8 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration SSI, Zurich (Switzerland), 2012 Mar 21-22; Proceedings (CD-ROM-Ausgabe), Paper 19. - Berlin, Offenbach (Germany) : VDE VERLAG GmbH, 2012 |
