Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Leidich, Stefan ; Kurth, Steffen ; Nowack, Markus ; Bertz, Andreas ; Froemel, Joerg ; Kaufmann, Christian ; Gessner, Thomas
HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3367-5 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, Darmstadt 2011, Oct 10 - 12; Proceedings, pp. 976-979 |
