Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, K. ; Wuensch, Dirk ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan ; Billep, Detlef ; Wiemer, Maik
Crack propagation in micro-chevron-test samples of direct bonded silicon-silicon wafers.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1971-8993 | |
| URL/URN: | http://www.gruppofrattura.it/pdf/fig/numero15/index.html#/22/ | |
| Quelle: | In: Frattura ed Integrità Strutturale . - 2011 , 15 , S. 21 - 28 |
