Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Hanf, Marian ; Forke, Roman ; Mehner, Jan ; Gessner, Thomas ; Dötzel, Wolfram
Test-Structure based MEMS Characterization Technique
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3009-4 | |
| Quelle: | Test-Structures, MEMS characterization, Laser Doppler Vibrometry, FEM Analysis. - Berlin, Germany : VDE VERLAG GMBH, 2007, S. 625 - 627 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Test-Structures, MEMS characterization, Laser Doppler Vibrometry, FEM Analysis |
