| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Advanced Technique for MEMS Manufacturing Monitoring based on Test-Structures | Shaporin, Alexey et al. | 2007 |
| 2 | Arrays of sensors with variable stiffness | Shaporin, Alexey et al. | 2007 |
| 3 | Test-Structure based MEMS Characterization Technique | Shaporin, Alexey et al. | 2007 |
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