Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ;
Hanf, Marian ;
Dötzel, Wolfram
Weckenmann, A. (Prof. Dr.-Ing. Dr.-Ing.E.h. Dr.h.c.mult.)
Advanced Technique for MEMS Manufacturing Monitoring based on Test-Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 3-00-016889-3, ISSN 1613-2122 | |
| Quelle: | 10th CIRP Conference on Computer Aided Tolerancing Specification and Verification for Assemblies. - Erlangen : Erlangen Druckerei, 2007, S. 30 - 30 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | FEM, LDI, test-structures, MEMS characterization, MEMS manufacturing monitoring |
