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Nr. Titel Autor Jahr
1 Parameterized Mode Truncation Technique in MEMS Design Kolchuzhin, Vladimir et al. 2010
2 Challenges in MEMS parametric macro-modeling based on mode superposition technique Kolchuzhin, Vladimir et al. 2009
3 Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level Shaporin, Alexey (Dipl.-Ing.) 2009
4 Ein MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip Tenholte, Dirk 2009
5 Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen Bennis, Abdelali 2009
6 High Order Derivatives Technology in Advanced MEMS Modeling Kolchuzhin, Vladimir et al. 2009
7 Measurement unit for tunable low frequency vibration detection with MEMS force coupled oscillators Forke, Roman et al. 2009
8 A derivatives-based method for parameterization of MEMS Reduced Order Models Kolchuzhin, Vladimir et al. 2008
9 A MEMS Friction Vacuum Gauge Tenholte, Dirk et al. 2008
10 A MEMS friction vacuum gauge suitable for high temperature environment Tenholte, Dirk et al. 2008
11 Application of Higher Order Sensitivity FE Method for Parametric MEMS Design Kolchuzhin, Vladimir et al. 2008
12 Efficient Generation of MEMS Reduced-Order Macromodels Using Differentiation of Finite Elements Kolchuzhin, Vladimir et al. 2008
13 Entwurf und Charakterisierung eines mikromechanischen Schrittschaltwerkes mit elektrostatischem Antrieb Schröter, Bernd 2008
14 Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich Fleischer, Jürgen et al. 2008
15 Fabrication and Characterization of a Force Coupled Sensor-Actuator System for Adjustable Resonant Low Frequency Vibration Detection Forke, Roman et al. 2008
16 Introduction to Microsystem Technology: A Guide for Students Dötzel, Wolfram et al. 2008
17 Tunable Frequency Selective Vibration Detection with MEMS Force Coupled Oscillators Forke, Roman et al. 2008
18 Acceleration Sensor Arrays Dienel, Marco et al. 2007
19 Adjustable Force Coupled Sensor-Actuator System for Low Frequency Resonant Vibration Detection. Forke, Roman et al. 2007
20 Advanced Technique for MEMS Manufacturing Monitoring based on Test-Structures Shaporin, Alexey et al. 2007
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