Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fleischer, Jürgen ; Buchholz, Ivesa ; Peters, Jochen ; Viering, Benjamin ; Goch, Gert ; Patzelt, Stefan ; Tausendfreund, Andreas ; Mehner, Jan ; Dötzel, Wolfram ; Shaporin, Alexey ; Neuschaefer-Rube, Ulrich ; Hilpert, Uwe ; Simon, Sven ; Tutsch, Rainer ; Herbst, Christian ; Weckenmann, Albert ; Hoffmann, Jörg ; Kramer, Philipp
Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich
Characterization of Standard-Geometry Micro Structures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0171-8096 | |
| DOI: | doi:10.1524/teme.2008.0875 | |
| Quelle: | Technisches Messen - TM. - Oldenbourg : Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH. - 75. 2008, Issue: 5, Pps: 327 - 338 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Geometrische Mikromesstechnik , Computertomographie , Koordinatenmesstechnik , optische Messtechnik , Laser-Doppler-Vibrometrie | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Geometrical micro metrology , computed tomography , coordinate metrology , optical metrology , laser-Doppler vibrometry |
