Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ;
Dötzel, Wolfram ;
Mehner, Jan
O. de Saint Leger
Challenges in MEMS parametric macro-modeling based on mode superposition technique
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 9781424441594 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ESIME.2009.4938481 | |
| Quelle: | Proceedings of the 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Micro-Systems, EuroSimE 2009, 2009 Apr 27-29, Delft (The Netherlands), S. 442 - 445. - Montigny le Bretonneux, France : Gimo Services, 2009 |
