Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Scheibner, Dirk ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
Measurement unit for tunable low frequency vibration detection with MEMS force coupled oscillators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0924-4247 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.sna.2009.08.028 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - 156. 2009, 1, S. 59 - 65 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Capacitive MEMS , Electrostatic force coupling , Spectral analysis , Superheterodyne principle , Vibration sensor |
