Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Zimmermann, Sven ; Ahner, Nicole ; Blaschta, Frieder ; Schaller, Matthias ; Zimmermann, H. ; Rülke, H. ; Lang, N. ; Röpcke, J. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Improvement of etch processes for SiCOH materials with novel in situ diagnostic and evaluation methods
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-6051-1218-3, ISSN: 1048-0854 | |
| Quelle: | Advanced Metallization Conference 2010 (AMC 2010), 2010 Oct 5-7, Albany, NY (USA); MRS Conf. Proc.; Materials Research Society, pp 101-110 . 2010 |
