Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Braeuer, Joerg ; Baum, Mario ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Electrochemical deposition of reactive nanoscale metallization systems for low temperature bonding in 3D integration
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-6051-1218-3, ISSN: 1048-0854 | |
| Quelle: | Advanced Metallization Conference 2010 (AMC 2010), 2010 Oct 5-7, Albany, NY (USA); MRS Conf. Proc.; Materials Research Society , pp 241-251 . 2010 |
