Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Zimmermann, Sven ; Ahner, Nicole ; Blaschta, Frieder ; Schaller, Matthias ; Rülke, H. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Analysis of the impact of different additives during etch processes of dense and porous low-k with OES and QMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2009.08.004 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering . - 87 . 2010 , 3 , S. 337 - 342 |
