Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Rudra, Sukumar* ; Waechtler, T. ; Friedrich, M. ; Louis, S.J. ; Himcinschi, C. ; Zimmermann, S. ; Schulz, S.E. ; Silaghi, S. ; Cobet, C. ; Esser, N. ; Gessner, T. ; Zahn, D.R.T.
Spectroscopic ellipsometry study of thin diffusion barriers of TaN and Ta for Cu interconnects in integrated circuits
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0031-8965 | |
| DOI: | doi:10.1002/pssa.200777831 | |
| Quelle: | In: physica status solidi (a). - 205. 2008, 4, S. 922 - 926 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | ellipsometry , thin diffusion barriers , TaN , Ta , Cu , interconnects , integrated circuits |
