Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Seifert, Tom* ; Haase, Micha ; Sayyed, Mudassir Ali ; Küchler, Mathias ; Zieger, Stephan ; Langer, Jan ; Reuter, Danny
Optical Emission Spectroscopy Analysis of the BOSCH Process Utilizing k-Means Clustering and Dynamic Mode Decomposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3315-4376-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3315-4377-8 ; Electronic ISSN: 2158-4923 P; rint on Demand(PoD) ISSN: 2158-4915 | |
| DOI: | doi:10.1109/ppps56198.2025.11248711 | |
| Quelle: | 2025 IEEE Pulsed Power & Plasma Science (PPPS), June 2025 Jun 15-20, Berlin (Germany). - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Dimensionality reduction , Heuristic algorithms , Clustering algorithms , Semiconductor device manufacture , Optical emission spectroscopy , Etching , Plasmas , Chemical elements , Monitoring , Chemicals |
