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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Shaporin, Alexey* ; Wecker, Julia ; Runge, Juliane ; Voigt, Sebastian ; Melzer, Marcel ; Kurth, Steffen ; Hiller, Karla

High precision electrostatic MEMS actuators for in-plane Fabry-Pérot gas sensors


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Institut 2: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: Electronic ISBN: 979-8-3503-9363-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-9364-4 ; Electronic ISSN: 2833-8596 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2833-8553
DOI: doi:10.1109/EuroSimE60745.2024.10491559
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10491559
Quelle: 2024 25th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2024 Apr 07-10, Catania (Italy), pp. 1-5. - IEEE Xplore, 2024
Freie Schlagwörter (Deutsch): Mikromechanische Geräte , Fabrikation , Kupplungen , Stellantriebe , Silizium-Bauteile , Optische Wellenleiterkomponenten , Messung optischer Größen , Gas-Sensoren , MEMS-Aktuatoren , Spannungssteuerung , Kapazitiver Sensor , Aktor Design , Hubbereich , Steifigkeit , Optische Faser
Freie Schlagwörter (Englisch): Micromechanical devices , Fabrication , Couplings , Actuators , Silicon devices , Optical waveguide components , Optical variables measurement , Gas Sensors , MEMS Actuators , Voltage Control , Capacitive Sensor , Actuator Design , Travel Range , Stiffness , Optical Fiber

Bemerkung:

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