Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kroll, Lothar ;
Mehner, Jan ;
Michel, Bernd ;
Otto, Thomas ;
Rzepka, Sven ;
Geßner, Thomas ;
Arnold, Benjamin ;
Rost, Florian ;
Decker, Ricardo ;
Bauer, Angelika ;
Tsapkolenko, Alexander ;
Heinrich, Michael
Kroll, Lothar
Technologies for the integration of miniaturized silicon sensor systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | DFG | |
| Institut 1: | Professur Strukturleichtbau / Kunststoffverarbeitung | |
| Institut 2: | MAIN-Forschung Professur Mikrosysteme und Medizintechnik (Prof. Mehner) | |
| Institut 3: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Institut 4: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | Hardcover ISBN 978-3-662-62216-2 ; Softcover ISBN 978-3-662-62219-3 ; eBook ISBN 978-3-662-62217-9 | |
| DOI: | doi:10.1007/978-3-662-62217-9_6 | |
| Quelle: | In: Kroll, Lothar: Multifunctional Lightweight Structures. Resource Efficiency by MERGE of Key Enabling Technologies, Integrating micro and nano systems into lightweight structures . - Berlin : Springer Vieweg, 2023, S. 473 - 501. - 1 | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
