Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Langer, Jan* ; Zienert, Andreas ; Hensel, Doreen ; Hofmann, Lutz ; Gottfried, Knut ; Rothe, Tom
Automatic Analysis of CMP Dishing in Via Arrays from AFM Images
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | https://nccavs-usergroups.avs.org/wp-content/uploads/2023/01/ICPT22-Session-I1-Langer.pdf | |
| Quelle: | International Conference on Planarization Technology (ICPT), 2022 Sep 27-29, Portland, OR (USA), 2022 | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
