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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Weidlich, Sebastian ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Bülz, Daniel ; Shaporin, Alexey ; Kuhn, Harald

Modular Probecard-Measurement Equipment for Automated Wafer-Level Characterization of High Precision MEMS Gyroscopes

Modulares Probecard-Messgerät für die automatisierte Charakterisierung von hochpräzisen MEMS-Gyroskopen auf Wafer-Ebene


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-1-6654-0282-8 ; 978-1-6654-0283-5 ; 2377-3480 ; 2377-3464
DOI: doi:10.1109/INERTIAL53425.2022.9787750
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9787750
Quelle: 2022 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2022 May 8-11, Avignon (France), 1-4. - IEEE, 2022
Freie Schlagwörter (Deutsch): MEMS , Test , Wafer-Level , kapazitive Sensoren , HAR , Quadraturkompensation , Coriolis , Gyroskop , Mikromechanische Bauelemente , Elektroden , Trägheitssensoren , Gyroskope , Test , Geräuschpegel
Freie Schlagwörter (Englisch): MEMS , test , wafer-level , capacitive sensors , HAR , quadrature-compensation , coriolis , gyroscope , Micromechanical devices , Electrodes , Inertial sensors , Gyroscopes , Testing , Noise level

Bemerkung:

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