Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Solonenko, Dmytro* ; Lan, Chuanqi ; Schmidt, Constance ; Stoeckel, Chris ; Hiller, Karla ; Zahn, Dietrich R. T.
Correction to: Co-Sputtering of Al1-xScxN Thin Films on Pt(111): a Characterization by Raman and IR Spectroscopies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0022-2461 ; 1573-4803 | |
| DOI: | doi:10.1007/s10853-021-06301-6 | |
| Quelle: | In: Journal of Materials Science. - Springer Science and Business Media LLC. - 56. 2021, S. 16181–16182 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Co-Sputtering , Characterization by Raman and IR Spectroscopies | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
