Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Solonenko, Dmytro* ; Schmidt, Constance ; Stoeckel, Chris ; Hiller, Karla ; Zahn, Dietrich R. T.
The Limits of the Post-Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0370-1972 (print) ; 1521-3951 (online) | |
| DOI: | doi:10.1002/pssb.201900400 | |
| Quelle: | In: physica status solidi (b). - Wiley. - 257. 2020, 5, 1900400 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | aluminium nitride , magnetron sputtering , piezoresponse force microscopies , post-growth annealing , vibrational spectroscopies | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC-ND 4.0 |
