Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hartmann, Steffen ; Hermann, Sascha ; Bonitz, Jens ; Heggen, Marc ; Shaporin, Alexey ; Mehner, Jan ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Wunderle, Bernhard
A MEMS test stage for in situ testing of interfaces between carbon nanotubes and metals
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 3: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-95735-040-4 | |
Quelle: | International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems (SSI), March 9-10, 2016. Munich, Germany. - Frankfurt : MESAGO, 2016 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotubes , molecular dynamics simulation , pull-out test , MEMS tensile tester |