Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Rost, Florian ; Arnold, Benjamin ; Vogel, Dietmar ; Michel, Bernd ; Rzepka, Sven
Mechanical in-situ characterization of micro systems during encapsulation and integration processes in structural components
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-1402-6 Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-1403-3 | |
| DOI: | doi:10.1109/ESTC.2016.7764507 | |
| Quelle: | 6th Electronic System-Integration Technology Conference (ESTC), 13-15 Sept. 2016, Grenoble | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | in-situ characterization , injetion moulding , sensor integration , silicon stress and temperature sensor , stress analysis |
