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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Jeschke, Janine ; Möckel, Stefan ; Korb, Marcus ; Rüffer, Tobias ; Assim, Khaybar ; Melzer, Marcel ; Herwig, Gordon ; Georgi, Colin ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich*

Chemical vapor deposition of ruthenium-based layers by a single-source approach


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Anorganische Chemie
Institut 2: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: Print + online 2016: ISSN 2050-7526 ; Online only 2016: ISSN 2050-7534
URL/URN: http://dx.doi.org/10.1039/C5TC03930D ; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-220047
Quelle: In: Journal of Materials Chemistry C. - Royal Society of Chemistry. - 4. 2016, S. 2319 - 2328
Freie Schlagwörter (Englisch): Chemical vapor deposition , ruthenium-based layers , single-source approach
OA-Lizenz CC BY 3.0

 

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