Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dhakal, Dileep ; Assim, Khaybar ; Lang, Heinrich ; Bruener, Philipp ; Grehl, Thomas ; Georgi, Colin ; Waechtler, Thomas ; Ecke, Ramona ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Atomic layer deposition of ultrathin Cu2O and subsequent reduction to Cu studied by in situ x-ray photoelectron spectroscopy
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0734-2101 E-ISSN: 1520-8559 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1116/1.4933088 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology A. - New York : American Institute of Physics. - 34. 2016, 1, 01A111 1 - 12 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic layer deposition , ALD , Metallic thin films , X-ray photoelectron spectroscopy |
