Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, Klaus ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas ; Vogel, Jürgen ; Lin, Yu-Ching ; Tsai, Yao-Chuan ; Esashi, Masayoshi ; Tanaka, Shuji
Evaluation of sputtered Pd76Cu6Si18 metallic glass for MEMS application
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-86359-296-7 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration Conference 2015 (SSI), Copenhagen (Denmark), 2015 Mar 11-12; Proceedings, pp 240-247. - Aachen : Apprimus Verlag, 2015 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | thin film metallic glass , TFMG , MEMS |
