Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Steller, Wolfram ; Meinecke, Christoph R. ; Gottfried, Knut ; Woldt, Gregor ; Günther, Wolfgang ; Wolf, Jürgen M. ; Lang, Klaus-Dieter
SIMEIT-Project: High Precision Inertial Sensor Integration on a Modular 3D-Interposer Platform
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4799-2407-3 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ECTC.2014.6897446 | |
| Quelle: | IEEE 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC), Orlando, Florida (USA), 2014 May 27-30; Proceedings, pp 1218-1225 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | microsensors , sensors , silicon , MEMS , flexible electronics |
