Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen | Mutschall, Doris et al. | 2022 |
2 | Process monitoring and impulse detection in face milling using capacitive acceleration sensors based on MEMS | Clauß, Benjamin* et al. | 2020 |
3 | SIMEIT-Project: High Precision Inertial Sensor Integration on a Modular 3D-Interposer Platform | Steller, Wolfram et al. | 2014 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 3 |