Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rodriguez, R.D. ; Evegniya, S. ; Rennau, Michael ; Schulze, S. ; Waechtler, Thomas ; Zahn, D.R.T ; Hietschold, Michael ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Low resistance carbon nanotube - metal contact for interconnect applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://nt13.aalto.fi/abstracts/posters/13012Abstract00177.pdf, nt13.aalto.fi/ | |
| Quelle: | NT13, Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes, Helsinki (Finland), 2013 Jun 24-28; Poster, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | carbon nanotubes , CNTs |
