Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Baum, Mario ; Schulz, Stefan E. ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
3D technologies for integration of MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://semieurope.omnibooksonline.com/2013/semicon_europa/SEMICON_TechARENA_presentations/TechArena2/3D/ | |
| Quelle: | SEMICON Europa , Dresden, Oct 8-10; Talk, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | 3D |
