Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gennat, Marc ; Meinig, Marco ; Shaporin, Alexey ; Kurth, Steffen ; Rembe, Christian ; Tibken, Bernd
Determination of parameters with uncertainties for quality control in MEMS fabrication
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1057-7157 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/JMEMS.2012.2236076 | |
| Quelle: | In: IEEE Journal of Microelectromechanical Systems Microelectromechanical Systems. - 22. 2013, 3, S. 613 - 624 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Frequency response measurements , MEMS testing , laser Doppler vibrometry , microelectromechanical systems (MEMS) , fabrication monitoring , noncontact electrostatic excitation , parameter identification , uncertainty calculation , wafer-level testing |
