Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Schüller, Martin ; Hiller, Karla ; Schulze, Robert ; Brauuer, Jörg ; Nestler, Jörg ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
Bonding technologies for standard bulk PZT ceramics without the need of after process polarization especially on thin silicon membranes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-933339-19-5 | |
| Quelle: | Actuator, Bremen, 2012 Jun 18-20, Proceedings, pp 705-708 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | standard bulk PZT ceramics |
