Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vogel, Klaus ; Wuensch, Dirk ; Uhlig, Sven ; Froemel, Jörg ; Naumann, F. ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Mechanical characterization of glass frit bonded wafers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-606-19-0078-7 | |
| URL/URN: | http://ysesm2012.comyr.com/text/Proceedings_11th_YSESM_Published_Final.pdf | |
| Quelle: | YSESM, Brasov, 2012 May 30 - June; Proceedings of 11th Youth Symposium on experimental solid mechanics, pp 239-245 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | glass frit bonded wafers |
