Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Melzer, Marcel ; Waechtler, Thomas ; Mueller, Steve ; Fiedler, Holger ; Hermann, Sascha ; Rodriguez, Raul D. ; Villabona, Alexander ; Sendzik, Andrea ; Mother, Robert ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Zahn, Dietrich R.T. ; Hietschold, Michael ; Lang, Heinrich
Variation of the growth behavior of copper oxide deposited via ALD on thermally pretreated CNTs
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/year/2012/conference/berlin/part/ds/session/44/contribution/58 | |
Quelle: | DPG Frühjahrstagung, Berlin (Germany), 2012 Mar 25-30, 2012 |