Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fischer, Tobias ; Ahner, Nicole ; Zimmermann, Sven ; Schaller, M. ; Schulz, Stefan E.
Influence of thermal cycles on the silylation process for recovering k-value and chemical structure of plasma damaged ultra-low-k materials
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2011.04.021 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. 2011 |
