Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Giessmann, Sebastian ; Kurth, Steffen ; Michael, Steffen ; Rembe, Christian ; Shaporin, Alexey ; Klattenhof, Jens ; Armbruster, Bernd ; Geißler, Holm ; Werner, Frank-Michael
Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3061-2 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik Kongress 2007. - Berlin : VDE Verlag GmbH, 2007, S. 873 - 876 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | FEM Analysis | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS characterization, Laser Doppler Vibrometry |
