Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Milekhin, Alexander G. ; Friedrich, Marion ; Hiller, Karla ; Wiemer, Maik ; Geßner, Thomas ; Zahn, Dietrich R. T.
Infrared Study of the Si Surfaces and Bonded Si Wafers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0268-1242 | |
| DOI: | doi:10.1088/0268-1242/14/1/009 | |
| Quelle: | In: Semiconductor Science and Technology. - IOP. - 14. 1999, 1, S. 70 - 73 |
