Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Akiba, A. ; Mitarai, S. ; Morita, S. ; Ikeda, I. ; Kurth, Steffen ; Leidich, Stefan ; Bertz, Andreas ; Nowack, Markus ; Froemel, Joerg ; Gessner, Thomas
A fast and low actuation voltage MEMS switch for mm-wave and its integration
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4244-7419-6; ISSN: 2156-017X | |
| Quelle: | IEEE International Electron Devices Meeting, San Francisco (USA), 2010 Dec 6-8; Proceedings, pp 828-831 |
