Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gessner, Thomas ; Vogel, Martina ; Kaufmann, Christian ; Hiller, Karla ; Kurth, Steffen ; Nestler, Joerg ; Otto, Thomas
Micro/nano technologies towards smart systems integration
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4244-5797-7 (print) | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ICSICT.2010.5667615 | |
| Quelle: | 10th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology (ICSICT), 2010 Nov 1-4, Shanghai (China), 2010 |
