Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fischer, Tobias ; Ahner, Nicole ; Zimmermann, Sven ; Schaller, M. ; Schulz, S.E.
Influence of thermal cycles on the silylation process for recovering k-value and chemical structure of plasma damaged ultra-low-k materials (Talk)
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1048-0854 | |
| Quelle: | Advanced Metallization Conference, Albany, NY (USA), 2010 Oct 5-7, 2010 |
