Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ; Shaporin, Alexey ; Hiller, Karla ; Kaufmann, Christian ; Gessner, Thomas
Reliability of MEMS Devices in Shock and Vibration Overload Situation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| DOI: | doi:10.1117/12.763617 | |
| Quelle: | Reliability, Packaging, Testing and Characterization of MEMS/MOEMS VII, 21 January 2008 , San Jose, CA, USA. - Proc. of SPIE. - 2008, 6884, S. 688401 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | reliability , MEMS , MEMS Devices |
