Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Tenholte, Dirk ; Kurth, Steffen ; Hiller, Karla ; Kaufmann, Christian ; Geßner, Thomas ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
A MEMS Friction Vacuum Gauge
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-025-218-1 | |
| Quelle: | Eurosensors XXII, 07.-10.09.2008, Dresden 2008 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | friction vacuum gauge , squeeze damping , molecular damping |
