Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Winkler, Georg* ; Rothe, Tom ; Sayyed, Mudassir Ali ; Jäckel, Linda ; Langer, Jan ; Kuhn, Harald ; Stoll, Martin
Machine learning in chemical-mechanical planarization: A comprehensive review of trends, applications, and challenges
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Wissenschaftliches Rechnen | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN: 1474-0346 ; Online ISSN: 1873-5320 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.aei.2025.103663 | |
| Quelle: | In: Advanced Engineering Informatics. - Elsevier BV. - 68. 2025, 103663 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Machine learning , Chemical-mechanical planarization , Semiconductor manufacturing , Virtual metrology , Process control , Literature review | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
