Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Künzel, Petra ; Schwarz, Uwe ; Voigt, Sven ; Weidlich, Sebastian ; Ziegenhardt, Roman ; Forke, Roman ; Kuhn, Harald
Erhöhung des Aspektverhältnisses der industriellen XMB10-Technologie durch nachträgliche Reduktion des Elektrodenspalts mittels Zustellen und Verschweißen
Increase of the aspect ratio of the industrial XMB10 technology by post processing gap reduction of the electrode gaps
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-073342-0 | |
| Quelle: | 15. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2022 Nov 9-10, Chemnitz (Germany), 2022 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | micromechanical devices , vibration sensor , sensitivity , Welding , high bandwidth , capacitive sensors , post process gap reduction process |
