Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuther, G. M.* ; Albrecht, Jan ; Dudek, Rainer ; Rzepka, Sven
Determining adhesion of critical interfaces in microelectronics – A reverse Finite Element Modelling approach based on nanoindentation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0026-2714 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.microrel.2022.114530 | |
| URL/URN: | https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0026271422000543 | |
| Quelle: | In: Microelectronics Reliability. - Elsevier B.V. - 133. 2022, 114530 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Dünnfilm , Finite-Elemente-Modellierung (FEM) , Adhäsionskräfte , Energiefreisetzungsrate , Kohäsive Zone , fokussierter Ionenstrahl | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | thin film , Finite Element Modelling (FEM) , adhesion energies , energy release rate , Cohesive Zone , focused ion beam , |
