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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Huber, Max* ; Hu, Xiao ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.

Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing

Modellierung der zeitlichen Entwicklung und Stabilität von dünnen Aufdampfschichten für die Oberflächenbearbeitung von Wafern


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 0021-9606 ; 1089-7690
DOI: doi:10.1063/5.0097409
URL/URN: https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0097409
Quelle: In: AIP The Journal of Chemical Physics. - AIP Publishing. - 157. 2022, 8, 084706-1 - 084706-8
Freie Schlagwörter (Deutsch): Flüssigkeitsfilme , Verdampfung einer dünnen Wasserschicht , Schleudertrocknung , Trennungsdruck , Gleichgewichtszustand
Freie Schlagwörter (Englisch): fluid films , evaporation of a thin water layer , spin drying , disjoining pressure , Equilibrium

Bemerkung:

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OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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