Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.
Pulse Current Electrochemical Deposition of Copper for Through Silicon Vias in MEMS: Experiment and Simulation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2191-7183 | |
| Quelle: | In: Microsystems Technology in Germany - Mikrosystemtechnik in Deutschland. - trias Consult. 2018, S. 46 - 47 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Electrochemical Deposition , Copper , Silicon Vias |
