Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris ; Meinel, Katja ; Melzer, Marcel ; Otto, Thomas
Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-5386-4707-3 , 978-1-5386-4708-0 , 2168-9229 , 1930-0395 | |
| DOI: | doi:10.1109/ICSENS.2018.8589845 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8589845 | |
| Quelle: | IEEE Sensors 2018, October 28 – 31, New Delhi (India). - IEEE Xplore Digital Library, 2018 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | PMUT , AIN , aluminium nitride |
